真空获得设备
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 真空获得设备 
上一页 电子束蒸发控制系统

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旋片式真空泵系列



旋片式真空泵为一种变容式真空泵,是抽除密封容器中的气体从而获得真空的设备,主要适用于抽除清洁空气和对油不起化学变化的气体,若附有气镇装置,还可以抽吸一定量的可凝性气体。但不适宜抽含氧过高的、有爆炸性的、对金属起腐蚀的含有颗粒尘埃的气体。可供真空镀膜、灯泡、热水瓶、电子管、医疗、化工和实验室等各种真空作业环境中使用。此泵可单独使用,也可用作增压泵、分子泵的前级泵。
型号:2X-0.5A,2X-1A, 2X-2,2X-4A,2X-4B,2X-8,2X-8A,2X-15,2X-30,2X-70A,2X-70B,X-100A,X-100B,2XZ-0.5,2XZ-1,XZ-1,XZ-2,XZ-4

2
滑阀真空泵



滑阀真空泵,是容积式真空泵的一种,是用于抽除密封容器中气体而获得真空的主要真空获得设备之一。主要用于抽除清洁空气和对油不起化学反应的气体,利用气镇装置亦可抽除含有少量可凝性气体,如用于抽除对金属有腐蚀、含有大量水份、含有颗粒粉尘的气体,应分别加装附加装置。不适用于抽除含氧过高,有爆炸性的气体。不能用于把气体自一容器抽至另一容器。

H-150滑阀真空泵具有抽气速率稳定,工作压力范围宽等优点。其几何抽气速率为152L/s,极限分压力低于1Pa,极限全压力小于6.5Pa,最大工作压力为大气压(直排大气)。因此,本泵可单独使用,亦可与更高真空泵组成获得机组,广泛应用于真空镀膜、冶炼、干燥、浸渍、脱气造型等真空作业场所。

本公司滑阀泵有以下特点:
1) 经过优化设计配重,振动少,噪声低。
2) 轴承密封室单独供油,与泵腔隔开,避免了杂质进入轴承、密封过早损坏。
3) 根据用户要求,可附带副油箱,达到冷却真空油分离杂质的作用。
4) 除老式H-150外,电机均置于泵的上方,结构紧凑,占地面积少。


3
罗茨真空泵



罗茨真空泵,是一种大抽速的机械真空泵,亦称机械增压泵。它在1000~1Pa压强有很大的抽气速率,且启动快,能在短时间内达到极限压力。但不能单独使用,需要与前级泵串联使用,待被抽气体的压力被前级泵抽到罗茨真空泵的允许入口压力时,才能开始工作。当然,它所能得到的极限压力与前级泵的极限压力有关。而带旁通阀的ZJP型罗茨真空泵的最大特点是具有过载自动保护。广泛用于真空镀膜、冶金工业的真空脱气、钢水真空处理、空间模拟、低密度风洞等装置中抽除非腐蚀性气体,也可用于食品、制药等工业中的蒸发、蒸馏、干燥等生产环节。型号:ZJP-600,ZJP-1200,ZJ-600

以下优点:
1,因转子采用高精度专用数控机床加工,并作精细平衡校验,具备良好的几何对称性,转子啮合间隙均匀。泵体、侧盖采用专用机床加工,精度高。因此本公司罗茨真空泵运转平稳、噪声低、振小,极限真空度高。
2,因泵的传动部件采用可靠的消隙结构,故泵可高 压差下长期工作。
3,起动快,能在短时间内达到极限真空。
4,因泵腔内无互相滑动的零件,无需用油润滑,避免了油蒸汽对系统的污染。
5,安全可靠,ZJP系列本身配带溢流阀起自动保护作用。
6,结构紧凑,占地面积小。左、右、下面三个排气口可以任选一个,方便用户安装。


4
油扩散泵



油扩散泵是用来获得1O^2  —lO^5 Pa高真空的主要真空获得设备,它和阀门、冷阱、管道、机械泵等真空元件一起组面高空抽气系统。
高真空油扩散泵抽气系统被广泛用于冶金工业、化学工业、无线电工业、真空镀膜设备。及国防、航天工业等。

油扩散泵油锅中的泵油在真空中加热到沸腾温度时产生大量的油蒸汽,油蒸汽经导流管由各级喷嘴定向高速喷出。由于进气口附近被抽气体的分压强高于油蒸汽流中该气体的分压强,所以被抽气体分子不断地扩散到油蒸汽流中。油蒸汽撞击被抽气体分子,使被抽气体分子沿着蒸汽流方向高速运动,气体分子碰到泵壁又反射回来再受到蒸汽流的碰撞而重新沿着蒸汽流方向流向泵壁。经过几次碰撞后,气体分子被压缩到低真空端,再由下级喷嘴喷出的蒸汽流进行多级压缩,最后由前级真空泵抽出,而油蒸汽在冷却的泵壁上被冷却后又返回到油锅中重新被加热,如此循环工作。

型号

抽气速率(L/S)

极限压力

最大排气压力

加热功率(kw)

冷却水量(L/min)

推荐配用前级泵(L/S)

HPa

Torr

HPa

Torr

KT-150

1000

7×10-7

5×10-7

4×10-1

3×10-1

1.2(220V)

250

8

KT-160

1000

1.2(220V)

250

8

KT-200

2000

2(220V)

300

15

KT-300

4500

3(220V)

500

30

KT-320

4500

3(220V)

500

30

KT-400

7500

4.5(380V)

600

70

KT-500

10000

7(380V)

600

70

KT-600

16000

8.5(380V)

850

150

KT-630

16000

8.5(380V)

850

150

KT-800

22000

14(380V)

1200

300


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