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蒸发式真空镀膜机
光学镀膜设备
多弧离子镀膜设备
DC,MF磁控溅射卷绕镀膜设备
蒸发+磁控镀膜设备
磁控溅射镀膜生产线
磁控溅射低辐射玻璃Low-E镀膜生产线
ITO导电玻璃镀膜设备
墙幕玻璃磁控溅射镀膜设备
其他真空镀膜机
卷绕真空镀膜设备
EMI镀膜生产线
太阳能薄膜电池镀膜生产线
PMMA 镀膜生产线

 光学镀膜设备 
蒸发式真空镀膜机 多弧离子镀膜设备

该设备适用于精密光学元件,高精密光通讯产品镀制光学膜:电学膜,金属膜,激光膜,冷光膜,分光膜,增透膜,各种滤光片(紫,红外截至膜),高反膜,太阳保护膜,塑料镜片和无机玻璃抗反射膜,各种滤光片电学膜,玻璃工艺品,各种反光灯碗,装饰膜如七彩膜等等。

结构特点:
1、配置电子束蒸发及电阻蒸发系统;
2、配置超大坩埚电子枪,整个蒸发过程中膜料表面平整,蒸发分布均匀; 3、配置石英晶体膜厚控制仪可实现成膜速度和镀膜过程的自动控制;
4、配置大功率离子源,膜厚质量好;
5、总体结构设计合理,更符合工艺的要求,真空系统PLC自动控制,操作方便

型号
GPO-550
GPO-660
GPO-700
GPO-800
GPO-900
GPO-1100
GPO-1300
GPO-1500
真空室
ф550X680
ф660X800
ф710X850
ф800X900
ф900X1000
ф1100X1300
ф1300X1500
ф1500X1600
工件盘
ф520
ф630
ф650
ф750
ф850
ф1020
ф1200
ф1400
真空系统
2x-30
2X-70
2x-70
2X-70
2x-70
2x-70
2x-70
2*(2x-70)
K300
TK400
TK500
K600
K600
K630
2*K600
2*K630
 
 
 
 
ZJP150
ZJP300
ZJP300
ZJP600
蒸发源
电子蒸发两组
5kw电子枪1只
6kw电子枪2只
8kw电子枪2只
极限真空
3X10-4Pa
恢复真空度
大气到4X10-3 Pa≦15m
空间转速
0~30rpm
烘烤温度
常温~350℃
光学膜厚控制
手动/半自动
充氧气压力控制
波长范围:380-800nm;精密电源:型号:1台;膜厚仪:1台,单色仪:1台
电力
自动压强控制仪:1台
冷却水
三相五线制;380V;50HZ
空气压力
0.5Mpa以上

以上技术参数仅供参考,如需具体数据,可来电咨询。

 


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